一、用途

是多晶硅原料熔化及成锭的的优选设备。在添加等离子加热源后可满足部分提纯要求。设备具有自动控温、快速升温冷却、快速升降取锭、超压保护等功能。同时设有操作平台方便操作及维护。  

二、技术参数

三、各部分组成和性能

  4.0中频电源采用先进的真空炉专用中频电源,全数字控制,8通道水流量控制保护和压力保护,主令电器采用施耐德或西门子电器接触器,国产空气开关,国产名牌晶闸管高频变流元件,使用寿命长;电源控制柜体采用仿进口梅勒电柜,输出电缆采用水冷电缆连接.

  4.1电容器柜采用封闭式结构,内置新安江电容器和水冷电极;结构紧凑,布局合理,安全可靠.

  4.2感应加热器为T3紫铜管,去表壳硫化处理,采用特种绝缘材料封装.

  4.3保温材料采用高温碳材料保温材料,层绕或整体定制.

  4.4隔热材料采用耐高温绝缘陶瓷材料,耐高温和电器绝缘

  4.5坩埚驱动机构由变频控制器驱动电机,带动减速机构,驱动丝杆升降具有调节灵活,速度稳定性能.

  4.6不锈钢炉体按照国标真空压力容器标准制造,双层水冷,专用真空不锈钢法兰;高密封真空密封圈,具有强久耐磨性能;真空炉盖采用液压驱动开盖旋转,炉盖上有保温材料和观测窗口及测温窗口.

  4.7真空机组采用扩散泵KT600+2X-70旋片泵,真空阀,真空仪表,冲气阀等

  4.8钢轨移动架用于移动中频熔炼硅时配合倾倒,确保钢水顺利倒入定向凝固炉坩埚内,主要由滑轮,钢架,电动马达驱动钢架移动.

  4.9测温仪器采用高温红外线光纤测温仪器和日本导电148段可编程温度控制器,执行升温速度按照最多148段升温曲线变化.