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一、用途
CZ800-A、CZ900A型单晶炉，是一种软轴提拉型单晶炉，在惰性气体（氩气）的 保护环境中，以石墨电阻加热器，将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶棒的 设备。 二、技术特点 1.真空保持稳定，重要的密封部位采用先进的磁流体密封技术；
2.机构运行平稳，主要运行部件采用进口高性能电机和高精度传动机构；
3.主炉室和副炉室之间采用插板阀连接，有效降低炉体高度，降低厂房
4.要求和减小籽晶轴的晃动； 5.主炉室与副炉室升降采用三相异步电机驱动，安全可靠；
6.完全具有自主知识产权的控制系统，以高性能进口PLC为控制核心，
7.外加工业级PC监控拉晶过程，性能可靠，避免死机现象发生； 8.先进的串级控制算法，精确控制温度和拉速，实现高精度的晶体生长；
9.全进口低压电气元件，保护灵敏可靠，维护方便；
10.触摸屏操作界面简洁、友好，控制过程可视性强，工艺曲线编辑方便；
11.单晶炉专用数字控制电源系统，空载电流小，能耗低。 三、技术参数
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